artykuł [AUT. KOR.] Karolina Czarnacka, [AUT.] Jakub Kisała , [AUT.] Andrzej Kocubiński , [AUT.] Mateusz Gęca . JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 2022 T. B40 s. 012806, DOI: 10.1116/6.0001488